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深圳市三维机电设备申请晶圆瑕疵检测专利,提高检测效率:机电设备
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金融界2025年5月10日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市三维机电设备有限公司申请一项名为“一种晶圆生产用晶圆瑕疵检测装置及方法”的专利,公开号CN119936058A,申请日期为2025年4月机
2025-05-14
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